在應用直讀光譜儀檢驗試品時，總是會出現一些的誤差，那麼，是什么造成直讀光譜儀產生誤差的呢？以下是從系統操作等方面匯總的3點誤差由來。

一、系統誤差也叫可測誤差，通常包含儀器設備的自身起伏；試品的給出值和具體值存有一定的誤差（規范試品的原素定值方法可能和具體檢驗方法不一致，這樣檢驗結果會出現方法上的差異；同一類方法的檢驗結果也存有一定的起伏）；被測試品和系列標樣之間存有成份的差異，可能造成在揮發、離解過程中的誤差，如背景強度的差別和基體揮發的差異等。

二、隨機誤差是一類無規律的誤差，如試件不均勻；檢驗時周邊的溫度濕度、電源電壓等的變動；試品自身的成份差異等。

三、過錯誤差就是指分析人員工作上的錯誤操作所獲得的結果，可以避免。如制樣不精準，試品前處理不符合規定，控樣和待測試樣存有制樣誤差，選擇了錯誤的分析程序等。