原子發射光譜儀的激發光源有熱激發光源（如火苗）、電激發光源（如電弧和火花）、等離子激發光源（如直流等離子噴焰(DCP)、電感藕合等離子炬(ICP)和微波電感等離子炬(MIP)）、激光光源等。

直讀光譜儀選用的多見火花光源，還有小量選用電弧光源解析礦物質或超低含量合金。傳統式的火花光源選用電容電感充放電基本原理，電容電感參數確認后，激發波型固定，全部原素均選用一樣的激發波型；可是不同試品和不同原素需要不同激發波型，比如激發電位高的原素需要火花型放電波型提供高的激發能量，微量分析需要電弧型放電波型改進蒸發作用，因而傳統式火花光源的激發作用較弱。

新式的數字光源選用多高壓電源脈沖生成技術，可完成隨意激發波型，對于不同原素選用適合的激發波型，取得最好激發作用，以達到不同基體的解析需求，是傳統式激發光源無可比擬的。